扫描测量提供了一种从规则型面工件或其他复杂工件上高速采集形状和轮廓数据的方法。

触发式测头可采集表面离散点，而扫描系统则可获取大量的表面数据，提供更详细的工件形状信息。因此，在实际应用中如果工件形状是整个误差预算的重要考量因素或必须对复杂表面进行检测，扫描测量可谓理想之选。

扫描需要根本不同的传感器设计、机器控制和数据分析方法。

雷尼绍扫描测头独具特色的轻巧无电源机构（无马达或锁定机构），具有高固有频率，适合高速扫描测量。分离的光学测量系统直接（无需通过测头机构中的叠加轴）测量测针的偏移量，以获得更高的精度和更快的动态响应。

扫描测头提供连续的偏移量输出，与机器位置相结合，从而获得表面位置数据。进行扫描测量时，测头测尖开始与工件接触，然后沿工件表面移动，采集测量数据。在整个测量过程中，须将测头测针的偏移量保持在测头的测量范围内。

要想取得最佳测量结果，需要传感器与机器控制紧密集成，以及先进的滤波运算，以将合成数据转换为可用的表面信息。扫描驱动算法适用于工件轮廓测量，改变扫描速度使之匹配曲率的变化（表面越平，速度越快），然后调整数据采集速率（表面变化越快，采集的数据越多）。