测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

特点：

1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力

2. 电动Z轴分辨力0.1μm

3. 具有高度自动测量

4. 内建偏光测量光学模块

5. 高速/无接触测量

6. 同轴光/底光测量

7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度

技术规格参数：

型号		MTM-3020MA
工作台	金属台尺寸(mm)	500 x 330
	玻璃台尺寸(mm)	350 x 250
	X、Y轴运动行程(mm)	300 x 200
手动Z轴行程(mm)		120
自动Z轴行程(mm)		2
外形尺寸(mm)		825 x 660 x 910
仪器重量(kg)		130
X、Y、Z轴分辨力(μm)		0.5
自动Z轴分辨力(μm)		0.1
示值误差(μm)		E_1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度，单位mm)
物镜放大倍数误差		包括畸变在内的放大率误差≦0.08%
落射照明光源		可调高亮度卤素灯
底光照明光源		可调高亮度LED灯源
		目视系统	影像系统
物镜放大倍数		5X、10X、20X、50X	5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜
目镜放大倍数		10X双镜筒	1/2”CCD摄像机
视频总倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900)
单层透明膜厚度测量模组
高精度测量模式					快速测量模式
厚度测量范围		100nm ~300nm	300nm ~500nm	500nm ~3μm	3μm ~20μm
分辨力		5nm	5nm	7.5nm	0.1μm

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