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AE-100M-NS10万濠纳米深度3D形状显微检测仪

Name: AE-100M-NS10万濠纳米深度3D形状显微检测仪
Rating: 4.7 (86 reviews)

纳米深度3D形状显微检测仪

产品详情

纳米3D显微形貌快速呈现

纳米深度3D形状显微检测仪不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、

普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，

更可提供镜面表面的纳米级粗糙度和台阶高度分析。

纳米深度3D形状显微检测仪具有极强的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描，得到

测量样品的3D圆形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，

3D圆形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或镭射，关机

快又安全，维护成本更低。

无论是抛光面，还是粗糙面，甚至是高透明材质（例如石英），只要有超过1%以上的反射率

就能够被检测。适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：

1、触控面板(Touch Panel)

2、太阳能板(Solar Cell)

3、晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

4、光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

5、微机电元件(MEMS Components)

6、平面液晶显示器(LCD)

7、高密度线路印刷电路板(HDI PCB)

8、IC封装(IC Package)

9、精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

10、以及其它材料分析与元件微表面研究。

AE-100M-NS10
移动台（mm）	平台尺寸150150，行程8060
镜筒放大倍率	1.0
物镜放大倍率	10X	20X	50X
观察与量测范围（mm）	0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光学解析度（μm）	1.15	0.86	0.62
收光角度（Degrees）	17	23	33
工作距离（mm）	7.4	4.7	3.4
感测器解析度	640*480像素
Z轴移动范围	45mm ,手动细调
Z轴位置数位显示器	解析度0.5μm
机台重量	50kg
载重	1kg
倾斜调整平台	双轴/手动调整
高度测量
测量范围	100μm(400μm,选配)
量测解析度	0.1nm
重复精度（σ）⑴	≤0.1%（量测高度：>10μm） ≤10nm（量测高度：1μm～10μm） ≤5nm（量测高度：<1μm）
量测控制	自动
光源
光源类型	白光LED灯箱
平均使用寿命	30000小时
资料处理与显示用电脑
中央处理运算单元	双核心以上CPU
影像与资料显示屏幕	17〞液晶荧幕
作业系统	Windows7
电源与环境要求
电源	AC110V/220V,50Hz/60Hz
环境振动	VC-C等级以上
量测与分析软体
量测软体/分析软体	ProfileViewer软体：具VSI/PSI量测模式、ISO粗糙度/阶高分析、多样的2D和3D观测视角图、图像缩放、标准影像档案格式转换、报表输出等。

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