项目 Item		参数 Parameter
测量范围 Measurement range	X轴axis	100mm
	Z1（传感器）Sensor	40mm
	高度Height	400mm
	最小内孔Min. inner hole	30mm (换小测针可测更小内径)
测量精度 Measurement Accuracy	X轴（L=X轴移动导轨距离） (L=X moving distance)	±(0.6+0.002L)μm
	Z1轴（H=Z1轴方向测量高度） (H=Z1meas. Height)	±(0.3+0.005H)μm
	示值误差Indication error	±5%
	示值稳定性Indicative stability	≤±7%
	测量重复性 Repeatability measurement	±3%
X轴 X	直线度Straightness	0.4μm /100mm
	分辨率Resolution	0.01μm
	产地Origin	美国MicroE （America）
传感器 Sensor	类型 Type	光栅传感器 Digital grating sensor
	分辨率Resolution	0.01μm
	产地Origin	美国MicroE （America）
评定长度Assessment length		λc×3、4、5、6、7
截止波长Cut-off wavelength		0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
爬坡角度Climbing Ability		上升77°（Upside），下降88°（Downside）
测量速度Meas. Speed		0.02mm至4.0mm/s
测量方式Meas. Mode		传感器移动Sensor moving
环境要求Environmental conditions		温度(T)：10～30℃；相对湿度(RH)：＜85%

技术亮点Technical highlights

无需转换传感器、测针；实现一次测量粗糙度、轮廓仪同时分析

使用要求Usage requirement

功率需求(Power)： AC 220V±10% 50Hz

环境要求(Environment requirement)：温度(T)：10～30℃；相对湿度(RH)：＜85%

安装地点无明显振源 (No obvious vibration)

单独地线 (Independent grounding)

主要配置Main configuration

部件名称 Part Name	项目名称 project name
机械部分 Mechanical Part	主机仪器架 Host instrument stand x1
	大理石工作台面 Granite table: 1
	直线导轨系统 Air-floating guide rail: 1
	方立柱系统 Up-right Column : 1
	数字传感器 Digital Sensor: 1
	调整工作台 Adjustment Table	水平调整系统Horizontal adjustment device
		回转及角度调试系统Rotation adjustment device
		平口装夹系统 Fixture
	校正标准件一套 Calibration Gauge : 1 set
	测头与测杆 Stylus and Probe	Φ321mm R0.025mm 斜测针：2根 Φ321mm with R0.025mm slope tip： 2 pcs
		Φ320mm R5μm 尖测针：1根 Φ320mm with R5μm Needle probe： 1pcs
		Φ8150mm 测杆: 1根, Φ8150mm Probe: 1 pc
空气过滤系统 Air Filter System 1
电器部分 Electrical Part	电器控制系统Electrical control system：1
	电脑（Computer）1
	HP喷墨打印机（HP Inkjet Printer）1
	测量软件（Software）：1

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